据了解，万华化学集团股份有限公司申请一项名为“一种无水氟化氢生产过程中除砷的方法“，公开号CN118579731A，申请日期为2024年9月3日。

目前，氟化工行业生产无水氟化氢主要采用萤石法和磷肥副产氟硅酸法等，上游原料带来的杂质例如砷、硫、Fe等元素杂质严重影响着无水氟化氢的品质，不利于下游氟盐、含氟聚合物等氟化产品使用要求。在无水氟化氢生产过程中杂质的去除是行业的难点，其中砷杂质的去除是难中之难，无水氟化氢需要控制砷含量<5ppm，电子级要求更高。

采用品质差的磷矿石伴生氟资源衍生制备无水氟化氢，氟化氢产品中除了砷，往往还有微量的碘、氯等杂质，这些杂质含量随着上游矿石的品质变化，影响氟化氢产品的品质，对于高要求的下游应用也需额外去除。

根据无水氟化氢生产工艺的差异，除砷的方法差异也较大，例如氟硅酸为原料生产无水氟化氢的工艺中，《从湿法磷酸副产品氟硅酸中除砷的研究》一文中报道了多种氟化氢生产过程中前端除砷的方法，文献中指出，生产一般采用硫化物与氟硅酸中的砷盐作用，以沉淀的方式去除砷，得到砷指标合格的氟硅酸再浓缩、热解、分离生产无水氟化氢。该方法过程中会产生毒气硫化氢，存在安全隐患。

除砷的方法中也有在生产的后端进行除砷操作的。在生产的后端，砷多以三氟化砷的形式存在，三氟化砷的沸点与氟化氢相近，很难去除，例如采用二氧化锰、高锰酸钾等氧化成五价砷分离去除，该方法因引入新的物质，存在金属元素二次污染，导致过程中无水氟化氢产品其他金属指标超标的问题，另外金属化合物在酸性环境中稳定性较差，会与体系中的氟化氢反应生成相应的氟化盐，额外消耗砷氧化剂，同时也会在成氟的损失；也有专利CN113401874A报道超低温冷冻、过滤等手段去除三氟化砷，但该过程中为除去PPm的砷而新增显著的能耗消耗以及流程冗长，导致性价比不高，也存在设备低温脆裂导致危险物料泄漏的安全隐患；采用氧化物水溶液，存在引入大量的水导致引起氟化氢腐蚀性增强的问题，增加设备腐蚀泄漏的风险，存在安全隐患。金属氧化物及双氧水在酸性环境中稳定性差，容易消耗，且氧化性偏弱，对砷去除的同时，对氟化氢中的其它微量杂质例如痕量的碘无去除协同作用。

综上所述，现有无水氟化氢生产过程中砷的去除难度很大，已使用及文献报道方法均存在操作难度高、其他新增金属或杂质污染超标、氧化剂消耗较多、造成氟损失等风险，以及一些安全隐患风险。针对现有生产工艺中存在的问题，急需开发一种方法简单高效的除砷方法。

该发明针对现有技术存在的上述不足，目的在于提供一种无水氟化氢生产过程中除砷的方法，以三氟化砷形式存在的砷杂质，在臭氧的作用下生成三氟氧砷，三氟氧砷再在氟化氢的作用下生成五氟化砷和水，然后通过精馏脱气的方法在精馏脱气塔塔顶采出助气、氧气、臭氧和五氟化砷混合气体，混合气体再经吸附处理去除五氟化砷，排放助气、氧气、臭氧的混合气体，处理过程中产生的ppm级水分不会对粗氟化氢中的水分发生明显变化而导致氟化氢腐蚀性增强提高设备材质要求，可通过原有工艺进一步除去水分。该发明解决了现有生产技术中除砷存在污染、腐蚀增强、副产毒气等问题。